根据wind数据，半导体设备ETF（159516）实时盘中净流入900万份，资金抢筹半导体设备资产。
长江证券表示，半导体设备与材料的国产化率仍然处于较低水平，2024年半导体设备上市公司营收占半导体设备销售额（不含进口光刻机）的比重为22.4%，材料则为30.7%，后续随着研发的大力投入，国产替代仍将稳步推进。
半导体设备ETF（159516）跟踪的是半导体材料设备指数（931743），该指数由中证指数有限公司编制，从A股市场中选取涉及半导体材料与设备制造的上市公司证券作为指数样本。指数成分涵盖半导体产业链上游关键环节，包括硅片、光刻胶、刻蚀机等核心材料和设备供应领域，集中反映国内半导体产业在基础材料与核心装备方面的自主化发展水平。
没有股票账户的投资者可关注国泰中证半导体材料设备主题ETF发起联接C（019633），国泰中证半导体材料设备主题ETF发起联接A（019632）。
注：数据来源wind、截至2025.8.22，半导体设备ETF规模为33.35亿，在同类6只产品中排名第一。如提及个股仅供参考，不代表投资建议。指数/基金短期涨跌幅及历史表现仅供分析参考，不预示未来表现。市场观点随市场环境变化而变动，不构成任何投资建议或承诺。文中提及指数仅供参考，不构成任何投资建议，也不构成对基金业绩的预测和保证。如需购买相关基金产品，请选择与风险等级相匹配的产品。基金有风险，投资需谨慎。
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